產(chǎn)品概覽
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					在高分辨率、受好評的FineSAT Ⅲ的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步提高了分辨率 
				
      
				
      
					
      
				
      
				
      
					為提高分辨率，提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面，超聲波在傳播介質(zhì)中的衰減越來越大，信噪 
				
      
				
      
					比降低的弊端變大，所以在檢查用途方面，300MHz前后是實(shí)用的*高頻率。 
				
      
			      		
			
				
      
			      		
		
      
	      

      

      
300MHz頻率的超聲波，在*佳條件下，僅 限于5μm左右寬度的線型識別，對于正在應(yīng)用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細(xì)結(jié)構(gòu)體的檢查時(shí)，可能無法適用。
      
FineSAT HR開發(fā)了新型電路、提高了分辨率，成功突破了這類超聲波檢查裝置的極限。
      
 

      
	產(chǎn)品構(gòu)成： 

      

      
	
		
      
			
			
			
				FS100ⅢHR
			
			
				FS200ⅢHR
			
			
				FS300ⅢHR
			
		
      
		
      
			
				支持探頭頻率(MHz)
			
			
				5～75
			
			
				5～140
			
			
				5～300
			
		
      
	      

      

      
      
                        
                    
      
                    

                
      
            
      
        
      
    
      

      

      






      
    
      
        
        
      
            
        
      
    
      

      



      
        
        
        
        
    

      
     


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