|
FS LINE采用大型掃描儀和大型水槽
可應(yīng)對FineSAT系列裝置不能應(yīng)對的大型對象物（如FPD、面向太陽能電池的濺鍍靶材、陶瓷零部件等不斷大型
化的材料、零部件）的檢查。
除了單焦點探頭用的FS LINE以外，還準(zhǔn)備了同時使用單探頭和陣列探頭，可以縮短大型對象物的檢查時間的FS LINE Hybrid。
同時，作為選購件，還準(zhǔn)備了用于檢查筒狀/圓柱狀對象物的表面的旋轉(zhuǎn)臺。關(guān)于水槽和掃描儀尺寸，也請隨時咨詢。
|
|
|
|
FS LINE
|
FS LINE Hybrid
|
|
探頭方式
|
單探頭的機械掃描方式
|
支持機械掃描或相控陣探頭電子掃描兩種方式
|
|
接合部分的檢查時間事例(*)
|
約10分鐘
|
1分30秒
（通過相控陣探頭的電子掃描進(jìn)行測定）
|
*(測定范圍2,500×300mm、2mm間距掃描時)
特點、規(guī)格:
FS LINE能進(jìn)行高精度的測定，還擁有基于FineSAT的使用方便性，並重視**性。
FS LINE Hybrid在低頻范圍的陣列探頭上實現(xiàn)了高阻尼化。 這樣，可同時進(jìn)行靶材和背板的接合檢查和靶材內(nèi)部的孔隙檢查。
而且，單焦點探頭難以檢查的邊緣斜面用斜角電子掃描也可進(jìn)行檢查。
|
|
型號
|
新型裝置
|
|
同時發(fā)送接收數(shù)量
|
*多32個振子
|
|
支持振子數(shù)
|
*多128個振子
|
|
陣列方向電子聚焦
|
可編程
|
|
接收范圍
|
5, 10, 15MHｚ
|
FS LINE Hybrid規(guī)格(陣列相關(guān))
斜角電子掃描聲束控制示意圖
|
掃描儀有效掃描范圍:
|
有效掃描范圍
|
|
750×800
|
|
1,550×2,000
|
|
4,000×2,000
|
（単位：mm）
|
有效掃描范圍4,000×2,000的事例
|